空调净化解决方案
所属系列:【半导体厂FFU应用】
- 空调送风系统通过一定的流速将灰尘送到过滤系统当中,初级过滤器将5um以上大颗粒灰尘留在过滤表面,中效过滤器将1um-5um颗粒抓取,高效过滤器将0.3um-0.5um以上灰尘颗粒过滤,从而保证无尘车间的等级!
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无尘室空调特性:
微尘粒子(按等级要求)
温度(22-23摄氏度DB),湿度(40-45%RH)
恒温恒湿控制要求(正负0.1摄氏度,正负2%)
全外气与高换气次数(化学药品,气体,挥发溶剂)
全天候(24hr)运转(负荷大,备份机组)
气流分布与控制
高能耗,高运转以及维修成本(1.4-1.9KW/m2)
空气循环量计算:
1、依空气换气次数(ACH)
Q=V*ACH
(m3/hr)=(m3/次)*(次/hr)
(2)依气流速度(Airvelocity)
Q=V*A
(m3/hr)=(m/s)*(m2)
循环风量=风速*面积(房间或回风口)
2、依气流速度(Airvelocity)
Q(立方米/hr)=v(m/s)*A(m2)
循环风量=风速*面积
(1)外气量(Q1与Q2较大者)
Q1=制程排气量(Qe)+间隙外洩量(Qi)+关门外泄量(Qd)
(2)外气量=排气量+10%排气量(泄漏)+1%循环空气量=8~10%循环空气量
空调内过滤网设计方案
AirFilter(空气过滤器.滤网)
初级滤网--外气入口 (Pre-filter)(5um↑)
重击滤网--空调箱中 (MediumEfficiencyFilter’BagFilter) (1um↑)
高效率滤网--无尘室 (HighEfficiencyParticulateAirFilter’HEPA) (1um↓)
超高效率滤网--Class100↑ (UltraLowPenetrationAirFilter’ULPA) (o.5u↓)
空调内滤网示意图
空调送风系统通过一定的流速将灰尘送到过滤系统当中,初级过滤器将5um以上大颗粒灰尘留在过滤表面,中效过滤器将1um-5um颗粒抓取,高效过滤器将0.3um-0.5um以上灰尘颗粒过滤,从而保证无尘车间的等级!
空调系统示意图
根据行业制程的不同要求,产品对无尘等级的要求不同,对过滤器的选型也是不一样的,不但要对应过滤颗粒粒径大小而设计,还要考虑空气过滤器中不同规格的参数比如初阻力,效率精度,流速等因素来设计,选取相应的过滤器。
推荐产品:
初效过滤器 中效过滤器 洁净棚
风淋室 货淋室 无尘室吸尘器
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